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Lethuillier, Jacques. "Les étapes de la fabrication des circuits intégrés : termes en contexte." Meta, volume 26, number 4, décembre 1981, p. 359–369. https://doi.org/10.7202/003480ar
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Lethuillier, J. (1981). Les étapes de la fabrication des circuits intégrés : termes en contexte. Meta, 26(4), 359–369. https://doi.org/10.7202/003480ar
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Lethuillier, Jacques "Les étapes de la fabrication des circuits intégrés : termes en contexte". Meta 26, no. 4 (1981) : 359–369. https://doi.org/10.7202/003480ar
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